陶瓷手臂具有耐高溫、耐腐蝕、耐磨、絕緣等性能，可長(zhǎng)期在高溫、真空以及具腐蝕性的氣體環(huán)境中使用，廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備。
我公司生產(chǎn)的陶瓷手臂選用高純度陶瓷原料，經(jīng)冷等靜壓成型、高溫?zé)Y(jié)和精密加工而成，尺寸精度可達(dá)±0.001mm，光潔度可達(dá)Ra0.1，使用溫度最高可達(dá)1600℃。我公司采用獨(dú)特的陶瓷粘結(jié)技術(shù)，經(jīng)粘結(jié)后的中空陶瓷手臂使用溫度最高可達(dá)800℃。
可選用的材料有：氧化鋁、氧化鋯、碳化硅、以及防靜電陶瓷材料。
